CMS-1

氣體質量流量計
CMS是一種高性能氣體質量流量計,使用了azbil獨立研發的微流量傳感器μF單元。此傳感器是一個晶片型熱質式質量流量傳感器,直接安裝於流體管路中,可以測量極低流速的流體流量,使CMS具有100:1高範圍比。微流量傳感器晶片與先進的流體管路設計技術的結合,使該儀錶測量精度高,量程比大,且成本低。

樹脂型、SUS型、SUS316型

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型錄(CP-PC-1280C)

操作手冊(CP-UM-5384C)

CMS/CMF系列通訊手冊(CP-SP-1184C)

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